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전자탐침미세분석기
Electron Probe Micro-Analyzer
- 모 델 명
- JXA-8100
- 제조국가
- 한국 (2004)
- 규 격
- - 가속전압 : 0.2~30kV(0.1kV / step)
- 분석범위 : 5B~92U
- 검출기(WDS)개수 : 3
- 이차전자분해능 : 6nm
- 후방산란전자 검출기 : Topograpfy and composition 이미지 - 용 도
- X선의 강도를 검출하여 시료의 화학조성을 규명
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