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비접촉 3차원 미세형상 측정기
Contactless 3D surface profiler
- 모 델 명
- NV-E1000
- 제조국가
- 한국 (2010)
- 규 격
- - 수직분해능 : PSI(최소 0.1nm) WSI(최소 0.5nm)
- 측정범위(Z축) : PZT스캔범위(180㎛) 모터스캔범위(5mm)
- 렌즈스캔배율 : 5X 10X 15X
- 작업스테이지 : 100*100mm - 용 도
- - 광간섭을 이용 표면 형상 및 거칠기의 값을 3차원 데이터로 표현 측정, 해석하는 기기
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